首条8英寸“超越摩尔”试线通线成功
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首条8英寸“超越摩尔”试线通线成功
中国，上海嘉定——2017年12月1日，致力于“超越摩尔”产业发展的创新平台上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）运营的8英寸“超越摩尔” 研发中试线首款传感器产品近日获得验证通过，正式宣告研发中试线通线成功。
当前以智能传感终端、大数据、云计算、人工智能等为代表的信息技术正加速创新，万物互联智能化时代正在到来。其中“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础。作为创新型功能平台，工研院立足国内集成电路研发和产业基地上海，8英寸研发中试线落户嘉定，填补国内这一领域的空白。
研发中试线着重开展表面硅、体硅、3D微纳加工工艺的开发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署MEMS、硅光子、射频、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相关工艺和量测易游网页版,易游(中国)，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、易游网页版,易游(中国)验证等服务。
“这次的通线成功标志着中国在MEMS及先进传感器的研发和产业化进入一个全新的快速发展的阶段。未来研发中试线将持续发力，在新材料、新工艺、新器件、新系统重点技术领域开展研发，进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。”上海微技术工研院总裁杨潇表示。
以全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线为支点，工研院将持续打造集研发、工程、市场、孵化的一体化功能平台，为创新企业及合作伙伴提供全方位的服务和解决方案，建设具有全球影响力的科技创新中心及“超越摩尔”产业群。
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一、传感器技术实验台,传感器实训装置,传感器实训台主要结构
传感器技术实验台,传感器实训装置,传感器实训台由主控台、传感器、实验模块、位移台架、数据采集卡及处理软件、实验台桌六部分组成。
主控台部分：提供高稳定的±5V、±15V、±2V～±10V（可调）、±2V～±24V（连续可调）、直流稳压电源；二组温度电源。主控台面板装有空气开关、电压、频率、转速显示表；温度表，温度控制仪微机电源。低频信号系统源1Hz-30Hz（可调）；音频信号源0.4KHz-10KHz；差动放大器，气压表、储气箱；RS232计算机串行接口。
二、传感器技术实验台,传感器实训装置,传感器实训台技术参数
| 输入电源 | AC220V 50Hz | 非线性误差 | ≤ 5% |
| 直流电源 | ± 5V ± 15V | 测量精度 | ≤ 1% |
| 稳压系数 | ± 1% | 功 耗 | 100VA |
| 电压纹波 | ≤ 10mV | 输出电流 | 1A |
三、传感器技术指标：
| 序号 | 实验模块 | 传感器名称 | 量 程 | 精 度 |
| 1 | 电阻霍尔式传感器 | 电阻式传感器 | ± 2mm | ±2% |
| 2 | 霍尔式传感器 | ≥ 2mm | 0.1% | |
| 3 | 电容式传感器 | 电容式传感器 | ±3mm | ±2.5% |
| 4 | 电感式传感器 | 电感式传感器 | ± 3mm | ± 3% |
| 5 | 光电式传感器 | 光电式传感器 | 0-2500 转/分 | |
| 6 | 涡流式传感器 | 涡流式传感器 | ≥ 3mm | |
| 7 | 温度式传感器 | 温度式传感器 | 0-80℃ | ± 2% |
| 8 | 磁电式传感器 | 0.5V/m | ||
| 9 | 压电式加速度传感器 | 压电式加速度传感器 | 1-30Hz | |
| 10 | 光纤式传感器 | 光纤式传感器 | ≥ 1.5mm | |
| 11 | 压力传感器 | 压力传感器 | 0-30kpa | ± 2% |
| 12 | 超声波传感器 | 超声波传感器 | 20-60cm | 1cm |
三、传感器技术实验台,传感器实训装置,传感器实训台实验内容：
|
实验一：电阻式传感器的单臂性能实验 实验三：电阻式传感器的全桥性能实验 ㊣实验五：电阻式传感器的震动实验 实验七：变面积式电容传感器特性实验 ㊣实验九：电容传感器的震动实验 实验十一：差动变压器的特性实验 ㊣实验十三：差动变压器的震动实验 实验十五：光电式传感器的转速测量实验 实验十七：接近式霍尔传感器实验 实验十九：涡流传感器的位移特性实验 ㊣实验二十一：涡流式传感器的震动实验 实验二十三：温度传感器及温度控制实验（AD590） 实验二十五：磁电式传感器转速测量实验 实验二十七：压电加速度式传感器的特性实验 实验二十九：光纤传感器的振动实验 实验三十一：压阻式转压力传感器的特性实验 实验三十三：超声波传感器的位移特性实验 |
实验二：电阻式传感器的半桥性能实验 实验四：单臂、半桥、全桥性能实验 ㊣实验六：电阻式传感器的电子秤实验 实验八：差动式电容传感器特性实验 ㊣实验十：电容传感器的电子秤实验 实验十二：自感式差动变压器的特性实验 ㊣实验十四：差动变压器的电子秤实验 实验十六：光电式传感器的旋转方向测量实验 实验十八：霍尔传感器的转速测量实验 实验二十：被测体材质对涡流传感器特性的影响实验 实验二十二：涡流式传感器的转速测量实验 实验二十四：磁电式传感器的特性实验 ㊣实验二十六：磁电式传感器的应用实验 实验二十八：光纤传感器的位移特性实验 实验三十：光纤传感器的转速测量实验 ㊣实验三十二：压阻式传感器的差压测量 ㊣实验三十四：超声波传感器的应用实验 |
备注：带㊣ 号实验为思考实验
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本文关键词：传感器
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